Præcisionsdelebehandling er ikke muligt at fuldføre alt overfladebehandlingsindhold i en proces, hele processen med præcisionsdelebehandling kan opdeles i følgende trin.
1, skrubningstrin. Afskære det meste af bearbejdningsgodtgørelsen af hver bearbejdningsoverflade, og bearbejdning ud af den fine reference, er hovedovervejelsen at øge produktiviteten så meget som muligt.
2, semi-finish fase. Afskær de defekter, der kan opstå efter groft bearbejdning, og forbered til efterbehandling af overfladen, hvilket kræver en vis bearbejdningsnøjagtighed og sikrer den passende efterbearbejdningsmargin, mens bearbejdningen af den sekundære overflade afsluttes.
3, Afslutningsfase. I denne fase, brugen af stor skærehastighed, lille fremføring og skæredybde, fjerner efterbehandlingsmargenen efterladt af den tidligere proces, så overfladen af delen til at opfylde de tekniske krav i tegningen.
4, let efterbehandlingstrin. Anvendes hovedsageligt til at reducere overfladeruhedsværdien eller styrke bearbejdningsoverfladen, hovedsagelig for overfladeruhedskrav er meget høje (ra Mindre end eller lig med 0.32μm) overfladebehandling.
5, Ultra-præcisions bearbejdningstrin. Bearbejdningsnøjagtighed i 0.1-0.01μm, overfladeruhedsværdi ra Mindre end eller lig med 0,001μm procestrin. De vigtigste forarbejdningsmetoder er: præcisionsskæring, fin spejlslibning, præcisionsslibning og polering mv.