Mikrobearbejdningsteknologi er en meget fleksibel proces, som kan producere mikrokomponenter med komplekse former. Derudover kan den anvendes på en lang række materialer. Dens tilpasningsevne gør den særligt velegnet til hurtig drift fra idé til prototype, fremstilling af komplekse 3D-strukturer og iterativt produktdesign og udvikling,
1. Fysisk mikrobearbejdningsteknologi
Laserstrålebehandling: en behandlingsproces, der bruger den varmeenergi, der styres af laserstrålen, til at fjerne materialer fra metal- eller ikke-metaloverflader. Det er mere velegnet til sprøde materialer med lav ledningsevne, men det kan bruges til de fleste materialer.
Ionstrålebehandling: en vigtig ukonventionel fremstillingsteknologi til mikro/nano-fremstilling. Den bruger den accelererede ionstrøm i vakuumkammeret til at fjerne, tilføje eller modificere atomerne på objektets overflade.
2. Kemisk mikrobearbejdningsteknologi
Reaktiv ionætsning (RIE): en plasmaproces, hvor stoffer exciteres ved RF-udladning for at ætse substrater eller film i et lavspændingskammer. Det er en synergistisk proces af kemiske aktive stoffer og højenergi-ionbombardement.
Elektrokemisk bearbejdning (ECM): en metode til fjernelse af metaller ved elektrokemiske processer. Det bruges normalt til storskala produktion og forarbejdning af ekstremt hårde materialer eller materialer, der er svære at bearbejde med traditionelle metoder. Dens anvendelse er begrænset til ledende materialer. ECM kan skære små eller uregelmæssige vinkler, komplekse konturer eller hulrum i hårde og sjældne metaller.
3. Mekanisk mikrobearbejdningsteknologi
Diamantdrejning: Processen med at dreje eller bearbejde præcisionskomponenter med en drejebænk eller afledt maskine udstyret med naturlig eller syntetisk diamantbor.
Diamantfræsning: en skæreproces, der kan bruges til at generere et asfærisk linsearray ved cirkulær skæring ved hjælp af et sfærisk diamantværktøj.
Præcisionsslibning: en slibende bearbejdning, der gør det muligt at bearbejde emnet til en fin overfladefinish og en meget tæt tolerance på 0.0001 ".
Polering: en slibende forarbejdning, argon-ionstrålepolering er en ret stabil proces, som bruges til at efterbehandle teleskopspejle og korrigere resterende fejl ved mekanisk polering eller diamantdrejning af optiske enheder. MRF-proces er den første deterministiske poleringsproces. Kommercialiseret og brugt til produktion af asfæriske linser, reflektorer mv.
