Præcisions-CNC-bearbejdningssystemet er forskelligt fra den almindelige slibemaskine, især emnet roterer ikke, slibebevægelsen og den cirkulære skærebevægelse afsluttes med omdrejning og rotation af slibehovedet, og op- og nedskæringsbevægelsen afsluttes med op og ned slag af slibehovedet ærmet. Slibehovedet er en komponent, der udfører hovedbevægelsen af koordinatkværnens slibebevægelse. Der er to slags slibehoveder: højfrekvent elektrisk slibehoved og luftturbineslibehoved.
På nuværende tidspunkt er præcisions-CNC-bearbejdning at opnå højpræcisionsbearbejdning, som ikke kan opnås med de eksisterende almindelige præcisionsbearbejdningsmetoder. Med hensyn til dens mængde er det at behandle formen og størrelsen af submikron eller endda nanometer skala og opnå overfladeruheden af nanometer skala. Hvor meget præcisionsværdi, der kan tælles som ultrapræcisionsbearbejdning, afhænger dog af størrelsen, kompleksiteten og den lette deformation af delene.
